LDCS-02 レーザー式高精細欠陥検査装置
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26mm幅の検査領域において1μmの欠陥が検出可能な、高精細で高コントラストな欠陥検査装置です。

・驚きの高精細で「見極める」
26mm幅のエリアを一度に画像化し、最小1μmの
欠陥を面積や長さから自動検出します。

・今までにない鮮明な画像で「見極める」
従来機に比べ10倍の解像度を実現する事により
高コントラストで欠陥を検出します。

・顕微鏡クラスの性能で「見極める」
顕微鏡に比べて遙かに広い領域を画像化するため、
短時間での全面自動検査に対応します。

ガラス・水晶等の光学素材や金属、セラミック、高機能フィルムの微細な異物・キズ・クラック・気泡、及び薄膜などの欠陥を検出します。
 
項目 仕様 備考
検査装置寸法 W510×D450×H500mm ケーブルスペースを除く
波長 405nm 青紫色可視光
光源照射角度 水平ワーク面に対して90°(垂直) -
検査幅(mm) 2.6 4.0 10 26 走査レンズの選択による
スポット径(μm) 0.6 0.8 2.5 6.0 焦点位置にて
作動距離(WD) 4.1 6.0 30 40 -
最小分解能(μm) 0.13 0.2 0.5 1.3 搬送速度による
項目 仕様 備考
温度・湿度範囲 使用時:15~35℃、35~70%RH 結露なきこと
電源定格 1φAC100V、1kW以下 -