SP3D-01 3Dカメラ表面形状検査装置

・サブミクロンの高さまで「見極める」
特殊レーザー光源でサブミクロンの厚み・段差測定が可能。

・輝度情報で欠陥種別まで「見極める」
表面高さ計測と同時に通常のカメラ同様に輝度画像も取得。

・エッジ部分の欠陥まで「見極める」
シートエッジを含むシート素材表面欠陥の全数検査に対応。

金属やセラミック、高機能フィルムの段差計測やシート素材の表面欠陥を高さ情報でNG判定します。
 
項目 仕様
センサー 光切断方式3Dラインカメラ
光源 レーザー光
計測対象範囲 15mm幅(固定)×最大200mm(可変)
水平分解能 10μm(1画素解像度)
高さ計測範囲 基準面から0.8mm以内
高さ分解能 0.1μm(局所平均値)
段差計測精度 0.4μm(繰り返し保証値)
項目 仕様
ワークテーブル 180×180mm
ワーク固定方法 なし(オプションで吸着テーブル装着可能)
検査範囲 150×150mm
Z軸焦点合せ 電動70mm
XY最大移動速度 60mm/sec
検査パソコン 汎用PC、Windows7 64bit、専用ソフト実装
検査結果出力 画面表示
項目 仕様
ワークテーブル 250×250mm
ワーク固定方法 吸着テーブル
検査範囲 200×200mm
Z軸焦点合せ 手動10mm
XY最大移動速度 300mm/sec
検査パソコン 汎用PC、Windows7 64bit、専用ソフト実装
画像処理 HALCON10ランタイム実装
検査結果出力 画面表示および汎用I/O入出力またはLAN通信
項目 仕様
温度・湿度範囲 使用時:15~35℃、35~70%RH、結露なきこと
電源定格 1φAC100V、1kW以下