レーザー式高速広視野欠陥検査装置LDWS
【LDWS-01】は、300mm幅において最高18m／分のライン速度で画像化し、最少10μmの欠陥を面積や長さから自動検出する高速・広視野な欠陥検査装置。金属やセラミック、高性能フィルムのキズ・クラックなどの欠陥を広範囲で検出する。CCDカメラが苦手とする光沢表面上の欠陥や素材と同色の異物等も検出可能で、検査対象物に合わせ、反射・散乱・透過などさまざまな検査方法に対応する。
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三次元カメラ表面形状検査装置SP3D
【SP3D-01】は、金属やセラミック、高機能フィルムの段差計測やシート素材の表面欠陥を高さ情報でNG判定する表面形状検査装置。シートエッジを含むシート素材表面欠陥の全数検査に対応。特殊レーザー光源でサブミクロンの厚み・段差測定が行え、さらに、光切断方式三次元ラインカメラの採用により、表面高さ計測と同時に通常のカメラ同様に輝度画像も取得できる。
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樹脂テープ材表面検査装置
【SP3D】は、高圧ケーブル被覆材をロール・ツー・ロールで検査し、内在するダマや異物といった欠陥を検出する樹脂テープ材表面検査装置。特殊レーザースリット光源３Dカメラで構成され、高さ情報にて検出。視認性の低い黒色樹脂素材においても可視化が可能。インラインによる搬送装置との連携にてNG箇所を特定し、日時・位置座標・面積といった欠陥情報を記録する。処理速度は画素ピッチ10μmで10mm／秒を達成。サブピクセル処理により、高さ方向分解能0.3μmで計測。
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放熱板平面度検査装置
パワー半導体の放熱用金属板の形状検査。
密着度・放熱性に直接影響するため、平面度における精度が要求される。放熱板平面度検査装置では、放熱板全面の反り量について、非接触で短時間の計測を可能とする。
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黒色ゴムシール表面検査装置
半導体機器などに用いる超精密ゴムシール。その製造過程において欠け・へこみなどが発生していましたが、特に立体的な表面形状や黒色素材といった条件より、欠陥を検出する術がありませんでした。この黒色ゴムシール表面検査装置は、フライングスポット方式レーザー光源と自社製専用受光器を使用することで、対象物からの反射散乱光を捉えて高感度な画像に展開することが可能となり、画像処理を駆使して欠陥の自動検出を行います。
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三次元コンタミ検出装置
三次元コンタミ検出装置は、特殊レーザースリット光源と三次元カメラで構成される三次元表面形状検査装置。車輌用動力伝達部品のように、画像処理ではコンタミを区別できないような繊維質で散乱が強く極端にざらついた表面でも、高さ情報による三次元画像からコンタミの特徴を捉えて解析をするため、過検出・誤検出がない。30mmの視野幅において、画素ピッチ20μmごとに1μmの分解能で高さ情報を取得。
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セラミックス板反り検査装置
セラミックス板の「反り」や「エッジ欠け」などの表面欠陥に対して、従来はレーザー変位計や接触式測定機による『点』や『線』での検査が一般的でした。
【セラミックス板反り検査装置】はSPD3Dシリーズでの豊富なノウハウをもとに、特殊なレーザースリット光源と三次元カメラにて『面』の形状を捉えます。複数箇所の線上の反りでも1回で検査することが可能です。また非接触で検査するためワーク表面への悪影響や不良ワークによる検査機の破損もありません。
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パーティクル検査用レーザー式画像処理検査装置
通常では高速検出が困難な微小パーティクルも高速検出できるレーザー式欠陥検査装置。検出パーティクルのマッピングとサイズ分類も行う。成膜ガラス基板上のパーティクル検査などに最適。
成膜ガラス検査用レーザー式画像処理検査装置
各種成膜ガラス基板などの成膜素材と同色の異物検査に最適な成膜ガラス基板検査用レーザー式欠陥検査装置。欠陥部でレーザーの散乱現象が生じるため、一般的な画像処理検査装置では検出困難な検査対象物と同色の欠陥や、透明異物も見逃すことなく検出する。実用例は、無色樹脂フィルム表面の透明異物の検査、ガラス基板上に成膜した透明皮膜表面のピンホール検査、黒色樹脂板表面の黒色異物の検査、その他各種素材表面と同色欠陥の検査。
金属板表面検査用レーザー式画像処理検査装置
鏡面研磨された銅板の素材表面の異物検査などに最適な金属板表面検査用レーザー式欠陥検査装置。一般的な画像処理検査装置用の光源ではハレーションを起こすような光沢表面上の欠陥も、見逃すことなく検出できる。実用例は、アルミニウム板表面の異物検査、ステンレス板表面の傷検査、銅箔表面の突起物検査、その他各種光沢素材表面の欠陥検査。
ドラム表面検査用レーザー式画像処理検査装置
一般的な画像処理検査装置では困難な検査対象物表面の微弱な凹凸も検出できるドラム表面検査用レーザー式欠陥検査装置。凹凸部でレーザーの反射角や屈折角に変化が生じるため、微弱な凹凸も見逃すことなく検出する。実用例は、アルミ素管表面の打痕検査、金属製シャフト表面の傷検査、樹脂ロールの異物検査、大型金属ロールの突起物検査、その他各種円筒素材表面の欠陥検査。
多層フィルム検査用レーザー式画像処理検査装置
樹脂フィルムなどの多層シート形状のWeb素材内層にある気泡検査に最適な多層フィルム検査用レーザー式欠陥検査装置。レーザーの焦点深度の深さにより、素材表面に面ブレが発生するようなWeb素材の欠陥も見逃すことなく検出する。実用例は、光学フィルム内層の異物検査、銅箔表面のピンホール検査、多層フィルム表層のピンホール検査、その他各種Web素材の欠陥検査。
コーティングフィルム外観検査装置
搬送される透明コーティング樹脂フィルムに存在する欠陥を、画像処理により検出するコーティングフィルム外観検査装置。300mmに渡り40μmのレーザースポット光を高速に走査させて対象物に照射し、そこからの透過光・反射光を捉えて画像に展開、画像処理を通して欠陥を自動検出する。
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非接触平面度検査装置
当装置は三次元計測装置であるSP3Dの応用にて、表面の平面度をワークに非接触で計測します。接触がないため摩耗もなく、ワークと常に離れているため衝突や不良ワークによる計測部の破損もありません。SP3Dの計測は千ではなく、幅がある領域のため、一回の計測で得られた領域から、複数の線上を一度に計測できます。
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