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レーザー式高速広視野欠陥検査装置
3Dカメラ表面形状検査装置

― 画像処理検査システム ―

SP3D-01

3Dカメラ表面形状検査装置

レーザービームによる光切断方式にて素材表面の凸凹をサブミクロンの高さ分解能で計測します。

LDWS-01 3Dカメラ表面形状検査装置

サブミクロンの高さまで「見極める」

特殊レーザー光源でサブミクロンの厚み・段差測定が可能。

輝度情報で欠陥種別まで「見極める」

表面高さ計測と同時に通常のカメラ同様に輝度画像も取得。

エッジ部分の欠陥まで「見極める」

シートエッジを含むシート素材表面欠陥の全数検査に対応。

製品詳細情報をダウンロード(PDF)

用途

金属やセラミック、樹脂素材の段差計測やシート素材の表面欠陥を高さ情報で良否判定します。

仕様

項 目 仕 様
センサー 光切断方式3Dラインカメラ
光源 スリット光
撮像幅 28mm
水平分解能 11μm(1画素解像度)
高さ計測範囲 基準面から±384μm
高さ分解能 0.4μm
搬送速度 35mm/sec

※最高分解能でのシステム構成であり、その他カスタマイズにも対応いたします。

環境条件

項 目 仕 様
温度・湿度範囲 使用時:15~35℃、35~70%RH、結露なきこと
電源定格 1φAC100V、1kW以下
サンプル評価テスト受付中
レーザー式高速広視野欠陥検査装置
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