サブミクロンの高さまで「見極める」

特殊レーザー光源でサブミクロンの厚み・段差測定が可能。

輝度情報で欠陥種別まで「見極める」

表面高さ計測と同時に通常のカメラ同様に輝度画像も取得。

エッジ部分の欠陥まで「見極める」

シートエッジを含むシート素材表面欠陥の全数検査に対応。